気相エピタキシャル成長
Kanji
Readings: キ、 ケ、 いき
                        Meanings: spirit, mind, air, atmosphere, mood
                    Readings: ソウ、 ショウ、 あい-
                        Meanings: inter-, mutual, together, each other, minister of state, councillor, aspect, phase, physiognomy
                    Readings: セイ、 ジョウ、 な.る、 な.す、 -な.す
                        Meanings: turn into, become, get, grow, elapse, reach
                    Readings: チョウ、 なが.い、 おさ
                        Meanings: long, leader, superior, senior